AMAT 0021-32583

产品名称：腔室内壁防护衬套组件产品简介：半导体等离子体工艺腔室的内壁防护部件，采用高纯度合金 / 陶瓷材质，保护腔室金属内壁免受等离子体与工艺气体侵蚀，延长腔室...