AMAT 0021-04643

产品名称：晶圆承载台加热组件产品简介：半导体工艺腔室晶圆承载台的核心加热部件，采用均匀加热设计，为晶圆提供稳定、均匀的工艺温度，保障沉积、退火等工艺的温度一致性...