AMAT 0020-27093

产品名称：气体分流盖板组件产品简介：工艺腔体气体均匀分配盖板，用于将工艺气体均匀分布至晶圆表面，提升制程均匀性。技术规格材质：316L EP 不锈钢结构：多孔分...