产品名称：气体分流盖板组件产品简介：工艺腔体气体均匀分配盖板，用于将工艺气体均匀分布至晶圆表面，提升制程均匀性。技术规格
- 材质：316L EP 不锈钢
- 结构：多孔分流设计，孔径 0.8mm，均布 120 孔
- 平面度：≤0.01mm
- 表面处理：电解抛光，Ra≤0.2μm
- 适配：300mm 晶圆工艺腔体功能特点
- 气体均匀分流，全晶圆表面气流一致
- 超高洁净内壁，无颗粒污染
- 耐腐蚀，适应强氧化性、腐蚀性气体
- 安装定位精准，保证气流对称性应用场景
- CVD、ALD、氧化扩散设备气体分配
- 半导体均匀成膜、均匀刻蚀工艺
- 先进制程气体喷淋系统
AMAT 1037-60969 
AMAT 0050-37273 
AMAT 0010-01231 
AMAT 0140-01620 