产品名称：腔体内衬屏蔽套产品简介：金属腔体内部防护内衬，隔离等离子体、保护腔体壁、减少杂质沉积与污染。技术规格
- 材质：高纯铝合金 + 表面陶瓷化处理
- 尺寸：适配 300mm 腔体，高度 220mm
- 壁厚：4mm，同轴度≤0.03mm
- 耐温：≤550℃
- 表面电阻率：≤10⁻⁵Ω・sq功能特点
- 有效隔离等离子体，保护腔体主体
- 减少副产物沉积，降低清洁频率
- 低杂质释放，保障晶圆洁净度
- 模块化设计，快速更换应用场景
- 刻蚀、PVD、CVD 设备腔体内衬
- 半导体先进制程腔体防护
- 高产能制程设备耐磨内衬
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AMAT 0021-37887
2026-02-11 17:09 已有人浏览 小编
分类Amat
产品AMAT 0021-37887
品牌AMAT
型号0021-37887
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