产品名称：电极绝缘陶瓷环产品简介：腔体电极与基座之间高压绝缘陶瓷环，提供电气隔离、热隔离与等离子体约束功能。技术规格
- 材质：高纯氮化硼（BN）陶瓷
- 尺寸：外径 280mm，内径 220mm，厚度 8mm
- 耐压：AC 15kV，DC 20kV
- 耐温：最高 1000℃
- 热导率：≥25W/m・K功能特点
- 优异高压绝缘性能，保障腔体电气安全
- 耐高温、抗热冲击，适应严苛工艺环境
- 低介电损耗，减少射频能量损失
- 耐等离子体冲刷，使用寿命长应用场景
- 等离子体刻蚀、沉积设备电极绝缘
- 射频电源与腔体电极隔离
- 高压半导体制程设备绝缘组件
AMAT 1037-60969 
AMAT 0050-37273 
AMAT 0010-01231 
AMAT 0140-01620 