产品名称：高纯气体调压阀组件产品简介：半导体工艺用高精度气体压力调节阀，用于特种工艺气体稳压、流量控制与压力保护。技术规格
- 适用气体：惰性气体、腐蚀性工艺气体
- 调压范围：0.1～20bar
- 控制精度：±0.5% FS
- 密封材质：316L EP、PFA、VCR 金属面密封
- 漏率：≤1×10⁻¹⁰ Torr・L/s功能特点
- 超高洁净度，无颗粒、无挥发污染
- 高精度稳压，输出压力稳定无波动
- 耐腐蚀，适配多种危险工艺气体
- 自带过压保护，提升系统安全性应用场景
- 半导体工艺气体输送系统
- 刻蚀、CVD、ALD 设备气体控制单元
- 特种气体机柜与气体分配系统
AMAT 1037-60969 
AMAT 0050-37273 
AMAT 0010-01231 
AMAT 0140-01620 