产品名称：射频屏蔽腔体组件产品简介：射频等离子体设备专用屏蔽腔体，用于隔离射频干扰、稳定等离子体、保护外部电路。技术规格
- 材质：无氧铜 + 镀镍处理
- 屏蔽效能：≥70dB（1MHz～1GHz）
- 腔体尺寸：适配 300mm 标准制程腔体
- 耐温：≤600℃
- 连接形式：法兰密封，接地电阻≤0.1Ω功能特点
- 高效射频屏蔽，避免外部电磁干扰
- 优化等离子体分布，提升工艺均匀性
- 良好导热性，辅助腔体散热
- 耐腐蚀、抗氧化，延长使用寿命应用场景
- 射频刻蚀、射频沉积设备腔体
- 等离子体清洗与表面处理设备
- 半导体射频工艺系统电磁屏蔽
AMAT 1037-60969 
AMAT 0050-37273 
AMAT 0010-01231 
AMAT 0140-01620 