AMAT 0020-31292

产品名称：腔体内部气流导流板组件产品简介：半导体工艺腔体专用气流导流部件，用于优化腔体内部气流分布，提升工艺气体均匀性，减少晶圆边缘效应，保障制程一致性。技术规...