AMAT 0020-20403

产品名称：气体分流盖板组件产品简介：半导体工艺腔体专用高精度气体分流盖板，用于均匀分配工艺气体，提升成膜与刻蚀均匀性，适配 300mm 制程腔体。技术规格材质：...