AMAT 0200-01991

产品名称：高纯陶瓷聚焦环产品简介：刻蚀腔体等离子体约束用高纯度陶瓷聚焦环，用于均匀等离子体分布，提升晶圆边缘制程均匀性。技术规格材质：高纯氧化铝陶瓷，纯度99....