产品名称：高纯陶瓷聚焦环产品简介：刻蚀腔体等离子体约束用高纯度陶瓷聚焦环，用于均匀等离子体分布，提升晶圆边缘制程均匀性。技术规格
- 材质：高纯氧化铝陶瓷，纯度≥99.6%
- 尺寸：外径 300mm，内径 220mm，厚度 12mm
- 平面度：≤0.02mm
- 耐温：最高 850℃
- 绝缘电阻：≥10¹⁴Ω・cm功能特点
- 等离子体约束均匀，改善边缘效应
- 高耐等离子体冲刷，寿命长
- 低杂质析出，不污染晶圆
- 热稳定性好，高温不变形应用场景：300mm 晶圆干法刻蚀腔体；等离子体增强沉积设备。
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AMAT 0200-01991
2026-02-12 14:14 已有人浏览 小编
分类Amat
产品AMAT 0200-01991
品牌AMAT
型号0200-01991
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