产品名称：工艺温度采集控制板产品简介：腔体与基座温度专用采集控制电路板，负责多路温度信号采集、放大、校准与闭环控温输出。技术规格
- 通道：8 路 PT100/PT1000 采集
- 精度：±0.1℃，分辨率 0.01℃
- 输出：4 路模拟量控制（0~10V/4~20mA）
- 通信：DeviceNet、以太网
- 采样速率：100ms / 周期功能特点
- 高精度温度采集，长期漂移小
- 闭环控温响应快，稳定性高
- 抗电磁干扰，适配射频环境
- 自带校准功能，维护便捷应用场景：腔体、基座、喷淋头温度控制；CVD、ALD、PVD 设备温控系统。
AMAT 0200-09761 
AMAT 0200-00262 
AMAT 0190-36349 