产品名称：设备主控电源分配模块产品简介：半导体设备专用电源分配与保护模块，负责整机多路电源分配、过流保护、电压监控与安全启停控制。技术规格
- 输入：三相 AC 380V，50/60Hz
- 输出：8 路 DC 24V/48V，多路 AC 220V
- 保护：过流、过压、欠压、短路、过热保护
- 通信：数字 I/O、RS485
- 工作温度：0~50℃功能特点
- 多路独立输出，互不干扰
- 实时电压电流监控
- 快速故障保护，保障设备安全
- 工业级稳定，适配连续生产应用场景：半导体刻蚀 / 沉积设备主控供电；自动化产线电源管理；真空系统、射频系统供电单元。
AMAT 0200-09761 
AMAT 0200-08347 
AMAT 0190-36349 