产品名称：真空传输腔门阀板组件产品简介：半导体真空传输系统专用门阀板，用于腔体隔离、真空隔断与晶圆通道通断控制，保障高真空环境稳定。技术规格
- 材质：阳极氧化铝 + 氟橡胶密封
- 密封形式：面密封，漏率≤1×10⁻⁹ Torr・L/s
- 尺寸：适配 300mm 传输通道
- 工作真空：≤1×10⁻⁸ Torr
- 驱动形式：气动驱动，响应时间≤100ms功能特点
- 高真空密封可靠，无泄漏
- 开关动作平稳，无振动冲击
- 耐磨耐腐蚀，寿命长
- 兼容真空连锁控制逻辑应用场景：半导体真空传输腔体；刻蚀、沉积、离子注入设备真空隔离阀。
AMAT 0200-09761 
AMAT 0200-08347 
AMAT 0200-00262 