产品名称：电极绝缘陶瓷环产品简介：腔体电极与基座之间高压绝缘环，提供电气隔离、热隔离与等离子体屏蔽，保障制程稳定与安全。技术规格
- 材质：高纯氮化硼陶瓷
- 耐压：AC 15kV，DC 20kV
- 耐温：最高 1000℃
- 尺寸：外径 280mm，内径 220mm，厚度 8mm
- 热导率：≥25W/m・K功能特点
- 高压绝缘可靠，无击穿风险
- 耐高温、抗热冲击
- 低介电损耗，不吸收射频能量
- 耐等离子体腐蚀应用场景：刻蚀、沉积设备电极绝缘；射频等离子体系统高压隔离。
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AMAT 0200-02577
2026-02-12 14:15 已有人浏览 小编
分类Amat
产品AMAT 0200-02577
品牌AMAT
型号0200-02577
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