产品名称：腔体内衬屏蔽环产品简介：腔体内部金属内衬屏蔽组件，用于保护腔体壁、约束等离子体、减少副产物沉积。技术规格
- 材质：无氧铜 + 镀镍 / 陶瓷涂层
- 尺寸：适配 300mm 腔体
- 壁厚：3~5mm
- 耐温：≤600℃
- 屏蔽效能：≥60dB功能特点
- 有效隔离等离子体，延长腔体寿命
- 减少副产物附着，降低清洁频率
- 优化等离子体分布，提升均匀性
- 模块化设计，更换快捷应用场景：刻蚀、PVD、CVD 腔体内衬；高产能制程腔体防护。
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AMAT 0200-10203
2026-02-12 14:15 已有人浏览 小编
分类Amat
产品AMAT 0200-10203
品牌AMAT
型号0200-10203
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