产品名称：石英约束环组件产品简介：半导体腔体专用高纯石英约束环，用于等离子体均匀化、电场整形与腔体保护。技术规格
- 材质：高纯合成石英
- 纯度：金属杂质 < 1ppm
- 耐温：最高 1100℃
- 透过率：紫外 - 红外高透过
- 尺寸：适配 200mm/300mm 腔体功能特点
- 高纯度，无金属污染
- 耐高温、抗热冲击
- 等离子体约束效果稳定
- 透光性好，支持光学监测应用场景：干法刻蚀、PECVD、等离子体清洗设备；需要光学监控的制程腔体。
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2026-02-12 14:15 已有人浏览 小编
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品牌AMAT
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