产品名称：晶圆承载绝缘环产品简介：静电卡盘外围绝缘支撑环，用于 ESC 边缘绝缘、晶圆定位与等离子体屏蔽。技术规格
- 材质：高纯氧化铝 / 氮化硼复合陶瓷
- 平面度：≤0.01mm
- 耐压：≥10kV
- 耐温：最高 400℃
- 适配：300mm 晶圆 ESC 系统功能特点
- 高压绝缘稳定，保障 ESC 正常工作
- 低磨损，不产生颗粒
- 精准定位晶圆，减少偏移
- 耐等离子体与工艺气体腐蚀应用场景：静电卡盘外围绝缘；PVD、CVD、刻蚀设备 ESC 系统。
产品中心
- ABB
- Allen-Bradley
- GE
- Schneider
- Yaskawa
- Bosch Rexroth
- Bently
- Triconex
- Honeywell
- Woodward
- Kuka
- NI
- Hima
- Yokogawa
- Emerson
- Motorola
- E+H
- Nvidia
- 储能产品
- Moog
- Kollmorgen
- Toshiba
- Metso
- Hitachi
- Xycom
- Sew
- Tektronix
- Omron
- Alstom
- Pacific
- Lam
- Mtl
- 其它品牌
- Siemens
- Amat
- Deif
- Agilent
- Elau
- Extreme Networks
全国服务热线
15359273790
技术过硬，据实报价
AMAT 0200-09200
2026-02-12 14:16 已有人浏览 小编
分类Amat
产品AMAT 0200-09200
品牌AMAT
型号0200-09200
价格电议
质保一年
电话 15359273790
AMAT 0200-09761 
AMAT 0200-08347 
AMAT 0200-00262 
AMAT 0190-36349 