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AMAT 0240-03082

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分类Amat

产品AMAT 0240-03082

品牌AMAT

型号0240-03082

价格电议

质保一年

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详情介绍

产品名称：晶圆升降顶针导向套

产品简介：晶圆升降机构专用陶瓷导向套，用于顶针导向、减磨、防尘，保证升降同轴度与稳定性。

技术规格

材质：高纯氧化锆陶瓷
内孔精度：±0.005mm
表面粗糙度：Ra≤0.02μm
硬度：≥HRA 90
适配顶针直径：3mm
功能特点
超高耐磨，长期使用无间隙
低摩擦，升降顺畅无卡滞
无金属析出，洁净度高
耐高温、不变形
应用场景：晶圆升降顶针机构；刻蚀、沉积、退火设备晶圆升降系统。

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