AMAT 0200-09200

产品名称：晶圆承载绝缘环产品简介：静电卡盘外围绝缘支撑环，用于 ESC 边缘绝缘、晶圆定位与等离子体屏蔽。技术规格材质：高纯氧化铝 / 氮化硼复合陶瓷平面度：0...