AMAT 0090-00352

产品名称：射频匹配网络控制模块产品简介：半导体射频工艺设备专用匹配网络控制单元，用于实时监测射频电源与腔体负载的阻抗匹配状态，驱动调谐电机实现阻抗自动匹配，保障...