产品名称：射频匹配网络控制模块产品简介：半导体射频工艺设备专用匹配网络控制单元，用于实时监测射频电源与腔体负载的阻抗匹配状态，驱动调谐电机实现阻抗自动匹配，保障射频功率高效传输与工艺稳定性。技术规格
- 适配频率：13.56MHz、27.12MHz、40.68MHz 标准射频频段
- 控制通道：2 路步进电机驱动（电容 / 电感调谐），分辨率 1 步 / 0.1°
- 监测参数：正向功率、反射功率、阻抗（R/X），测量精度 ±0.5%
- 通信接口：RS485、DeviceNet、以太网，支持 AMAT SECS/GEM 协议
- 供电：24V DC，功耗≤20W，工作温度 0–50℃
- 响应时间：阻抗匹配调节时间≤100ms，反射功率抑制≤1%功能特点
- 自动阻抗匹配：实时计算负载阻抗，快速驱动调谐机构，实现最佳匹配
- 高抗干扰：工业级 EMC 设计，耐受强射频干扰，数据稳定无漂移
- 闭环控制：实时反馈匹配状态至主控系统，保障射频功率稳定输出
- 故障保护：支持反射功率过高、电机堵转、通信异常报警，保护射频电源
- 兼容适配：匹配 AMAT 全系列射频电源，适配刻蚀、PECVD、等离子体清洗设备
- 远程监控：支持以太网通信，实现远程参数设置与匹配状态监控应用场景：半导体干法刻蚀设备射频匹配、PECVD 设备射频系统、等离子体增强沉积设备、射频等离子体清洗设备、先进制程射频工艺控制。
AMAT 0200-09761 
AMAT 0200-08347 
AMAT 0200-00262 
AMAT 0190-36349 