产品名称：真空腔体压力传感器组件产品简介：半导体超高真空腔体专用高精度压力监测组件，集成电容式压力传感器与信号处理单元，用于腔体真空度实时测量与控制，适配 10⁻⁹–10³ Torr 宽量程真空环境。技术规格
- 传感器类型：电容式薄膜真空计，双量程（低真空 / 高真空）
- 测量范围：10⁻⁹ Torr–10³ Torr，分辨率 1×10⁻⁹ Torr
- 精度：±0.2% FS，温度漂移≤±0.05% FS/℃
- 输出信号：4–20mA、0–10V 模拟量，RS485 数字通信
- 密封形式：金属密封，真空漏率≤1×10⁻¹⁰ Torr・L/s
- 安装：KF40 法兰安装，适配 AMAT 标准真空腔体接口功能特点
- 宽量程高精度：覆盖从低真空到超高真空全量程，测量精准无死区
- 真空兼容：金属密封设计，无挥发、无颗粒释放，满足 Class 10 洁净要求
- 快速响应：响应时间≤50ms，实时捕捉真空度变化
- 长期稳定：低漂移、抗老化，校准周期≥1 年，使用寿命≥3 年
- 信号隔离：模拟量与数字量双输出，抗干扰能力强，适配复杂工控环境
- 故障诊断：支持传感器失效、通信异常报警，保障真空系统安全应用场景：半导体刻蚀 / 沉积腔体真空监测、真空传输系统压力控制、分子泵 / 涡轮泵真空系统、超高真空半导体制程设备真空监控。
AMAT 0200-09761 
AMAT 0200-08347 
AMAT 0200-00262 
AMAT 0190-36349 