AMAT 0040-41061

产品名称：晶圆定位校准模块产品简介：半导体设备专用高精度晶圆定位校准单元，用于晶圆缺口 / 平边识别、角度校正与中心定位，保障晶圆传输与制程位置精准。技术规格检...