AMAT 0021-14344

产品名称：高纯气体喷淋头内衬组件产品简介：安装于气体喷淋头内部的高精度内衬部件，用于气体二次均流、降低湍流、提升晶圆表面气体分布均匀性，直接影响成膜与刻蚀质量。...