产品名称：高纯气体喷淋头内衬组件产品简介：安装于气体喷淋头内部的高精度内衬部件，用于气体二次均流、降低湍流、提升晶圆表面气体分布均匀性，直接影响成膜与刻蚀质量。技术规格
- 材质：316L EP 级不锈钢
- 表面处理：电解抛光，Ra≤0.2μm
- 结构：多孔均流结构
- 平面度：≤0.01mm
- 耐温：≤600℃
- 洁净等级：Class 10 无尘室组装功能特点
- 气流均匀稳定，消除局部涡流
- 超高洁净度，无颗粒、无析出
- 耐腐蚀，适应各类工艺气体环境
- 安装定位精度高，同轴度好
- 易拆卸清洁，维护成本低应用场景：CVD、ALD 设备气体喷淋头；半导体均匀成膜工艺；刻蚀设备气体分配系统。
AMAT 0190-25291 
AMAT 1410-01366 
AMAT 0040-01849 
AMAT 0021-36302 