产品名称:射频电缆及接地组件产品简介:半导体射频系统专用低损耗射频传输电缆与接地套件,用于射频电源到匹配网络、腔体电极之间的能量传输,保证功率传输效率与系统稳定性。技术规格
- 频率范围:0~100MHz
- 阻抗:50Ω
- 耐压等级:≥5kV
- 屏蔽效能:≥80dB
- 接头类型:N 型、BNC
- 外皮材质:耐高温氟塑料功能特点
- 低损耗、低驻波比,能量传输效率高
- 双层屏蔽,抗外界干扰能力强
- 耐高温、耐等离子体辐射
- 接地可靠,降低噪声与反射
- 柔性设计,便于设备内部布线应用场景:13.56MHz 射频系统布线;刻蚀、PECVD 设备射频传输;半导体射频电源与匹配器连接。




AMAT 0190-25291
AMAT 1410-01366
AMAT 0040-01849
AMAT 0021-36302