产品名称：腔体观察窗密封法兰组件产品简介：超高真空腔体观察窗专用密封与固定法兰，用于光学窗口的安装、密封与定位，保证腔体真空度与光学通路完整性。技术规格
- 材质：6061‑T6 铝合金，硬质阳极氧化
- 适用镜片：石英、蓝宝石
- 密封形式：金属密封 + 氟橡胶双重密封
- 真空漏率：≤1×10⁻⁹ Torr・L/s
- 耐温：-20℃～300℃功能特点
- 超高真空密封可靠，无泄漏
- 结构刚性强，不变形、不漏光
- 镜片安装同轴度高
- 抗热冲击，适应腔体温度循环
- 拆装方便，便于镜片更换应用场景：刻蚀、沉积腔体观察窗；真空设备光学监控系统；半导体制程内窥与检测装置。
AMAT 0190-25291 
AMAT 1410-01366 
AMAT 0040-01849 
AMAT 0021-36302 