产品名称：设备主控逻辑处理单元产品简介：半导体制程设备核心控制模块，负责整机逻辑运算、时序控制、I/O 调度、故障诊断与工艺配方管理，保障设备连续稳定运行。技术规格
- 处理器：32 位工业级处理器
- 运行内存：512MB
- 数字 I/O：64 路输入、32 路输出
- 控制周期：≤1ms
- 通信协议：SECS/GEM、Modbus、TCP/IP
- 工作环境：-10℃～60℃，5%～95% RH 非冷凝
- 防护等级：工业级 EMC 防护功能特点
- 实时多任务控制，响应速度快
- 支持多工艺配方存储与一键切换
- 完善的故障报警与历史记录功能
- 支持远程监控与在线调试
- 硬件看门狗，防止系统死机
- 高可靠性设计，无故障运行时间长应用场景：半导体前端制程设备主控；刻蚀、沉积、清洗设备控制单元；自动化生产线中央控制器。
AMAT 0190-25291 
AMAT 1410-01366 
AMAT 0040-01849 
AMAT 0021-36302 