产品名称：多通道模拟量采集控制模块产品简介：半导体设备专用高精度模拟量采集与控制单元，用于工艺过程中压力、流量、温度、功率等模拟信号的采集、滤波、运算与输出控制，是设备闭环控制的核心部件。技术规格
- 采集通道：16 路单端模拟量输入
- 输入量程：0～5V、0～10V、4～20mA
- 采集精度：±0.05% FS
- 分辨率：16 位
- 输出通道：8 路模拟量输出
- 通信接口：RS485、DeviceNet、以太网
- 工作电源：24V DC
- 工作温度：-10℃～60℃功能特点
- 多通道同步采集，数据实时性强
- 高精度、低漂移、长期稳定性优异
- 内置硬件滤波，抗电磁干扰能力强
- 支持多点校准与故障自诊断
- 光电隔离设计，避免信号串扰
- 支持远程参数配置与数据上传应用场景：半导体刻蚀、CVD、PVD 设备过程控制；真空系统、气体系统、温控系统数据采集；工业自动化产线模拟量监控。
AMAT 0190-25291 
AMAT 1410-01366 
AMAT 0040-01849 
AMAT 0021-36302 