产品名称：腔体加热控制模块产品简介：半导体腔体专用加热驱动与控温单元，用于加热器功率输出、温度闭环调节与过热保护。技术规格
- 输出功率：0~1kW 连续可调
- 控温范围：室温～400℃
- 控温精度：±0.5℃
- 控制方式：PID 闭环
- 保护：过热、过流、短路保护功能特点
- 功率输出平稳，温度波动小
- 自适应 PID 算法，响应快
- 多级过热保护，安全可靠
- 支持远程设定与监控
- 适配多种加热器类型应用场景：腔体壁加热；工艺基座加热；气体管路伴热；CVD、氧化、退火设备温控系统。
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AMAT 0010-02991
2026-02-12 14:57 已有人浏览 小编
分类Amat
产品AMAT 0010-02991
品牌AMAT
型号0010-02991
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