AMAT 0200-29907

产品名称：高纯气体分配板组件产品简介：半导体工艺气路专用高精度气体分配与控制组件，实现多路工艺气体的精确分配、压力稳定与流量调节，保障气路洁净、无泄漏、无脉动。...