产品名称：高纯气体分配板组件产品简介：半导体工艺气路专用高精度气体分配与控制组件，实现多路工艺气体的精确分配、压力稳定与流量调节，保障气路洁净、无泄漏、无脉动。技术规格
- 通道数：8 路独立气体通道
- 适用管径：1/4"VCR、3/8" VCR
- 耐压：0~20bar
- 漏率：≤1×10⁻⁹ Torr・L/s
- 材质：316L EP 级不锈钢
- 表面处理：电解抛光，Ra≤0.2μm
- 适用气体：惰性气体、腐蚀性工艺气体功能特点
- 多路气体独立控制，互不干扰
- 超高洁净，无颗粒、无杂质释放
- 金属面密封，零泄漏、长寿命
- 结构紧凑，集成度高，节省安装空间
- 耐腐蚀，适配多种半导体工艺气体
- 便于拆卸清洁与维护应用场景：CVD、ALD、刻蚀工艺气体分配；MFC 前端气路控制；超高纯气体输送系统；半导体工艺气路集成单元。
AMAT 0190-25291 
AMAT 1410-01366 
AMAT 0040-01849 
AMAT 0021-36302 