产品名称：真空腔体安全联锁模块产品简介：半导体真空设备核心安全控制单元，负责腔体门开关、真空压力、温度、急停信号的监测与联锁，保障设备运行与人员操作安全。技术规格
- 输入通道：12 路安全数字量输入（门开关、真空开关、急停）
- 输出通道：6 路安全继电器输出
- 响应时间：≤10ms
- 安全等级：PLd/SIL2
- 工作电压：24V DC
- 工作温度：-10℃~60℃
- 防护等级：IP20功能特点
- 多通道独立监测，无交叉干扰
- 毫秒级响应，异常立即切断动力
- 故障锁定与状态记忆，便于排查
- 抗电磁干扰，适配工业现场环境
- 符合 SEMI S2 半导体设备安全标准
- 支持安全 I/O 扩展与远程监控应用场景：刻蚀、沉积腔体门联锁；真空传输舱安全保护；整线设备急停与安全逻辑控制；半导体设备安全系统核心单元。
AMAT 0190-25291 
AMAT 1410-01366 
AMAT 0040-01849 
AMAT 0021-36302 