产品名称：直流偏置电源模块产品简介：半导体腔体专用高精度直流偏置电源，为静电卡盘（ESC）、偏置电极提供稳定直流电压，实现晶圆吸附、偏压控制与电荷调控，是先进制程的核心供电单元。技术规格
- 输出电压：0~±5kV 连续可调
- 输出电流：0~100mA
- 纹波系数：≤0.1%
- 稳定度：±0.05% FS
- 响应时间：≤5ms
- 保护功能：过压、过流、短路、电弧保护
- 通信接口：模拟量 / 数字量 I/O、RS485功能特点
- 高精度、低纹波，输出纯净稳定
- 双极性输出，适配正负偏压需求
- 多重安全保护，防止晶圆与腔体损坏
- 体积紧凑，适配设备内部狭小空间
- 长期运行稳定，温漂极小
- 支持远程设定与故障诊断应用场景：静电卡盘（ESC）供电；刻蚀腔体偏压控制；PVD、ALD 晶圆吸附系统；半导体先进制程电荷控制。
AMAT 0190-25291 
AMAT 1410-01366 
AMAT 0040-01849 
AMAT 0021-36302 