产品名称：射频匹配网络控制模块产品简介：半导体射频工艺系统专用匹配控制单元，用于实时监测与调节射频负载阻抗，实现射频电源与腔体负载的高效匹配，最大化射频功率传输效率，保障等离子体工艺稳定。技术规格
- 适配频率：13.56MHz、27.12MHz、40.68MHz
- 匹配范围：0.1~50Ω
- 调节速度：≤10ms
- 控制方式：自动闭环 PID
- 通信接口：RS485、DeviceNet、以太网
- 工作电压：24V DC
- 防护等级：工业级 EMC 抗干扰功能特点
- 实时阻抗检测与快速匹配，响应迅速
- 自动消除反射功率，提升能量利用率
- 支持手动 / 自动模式切换，调试便捷
- 具备过功率、过温、失配多重保护
- 抗射频干扰能力强，适配强等离子体环境
- 支持远程参数配置与状态监控应用场景：干法刻蚀设备射频匹配；PECVD、PVD 射频系统；等离子体清洗与表面处理设备；半导体射频工艺闭环控制。
AMAT 0190-25291 
AMAT 1410-01366 
AMAT 0040-01849 
AMAT 0021-36302 