产品名称：晶圆升降机构导向组件产品简介：晶圆升降轴专用高精度导向部件，保证升降运动同轴、平稳、无卡滞、无颗粒，适用于真空与高温环境。技术规格
- 材质：高纯氧化锆陶瓷 + 不锈钢
- 同轴度：≤0.005mm
- 表面粗糙度：Ra≤0.02μm
- 耐温：≤400℃
- 运动方式：直线往复运动功能特点
- 超高耐磨，长期运行无间隙
- 低摩擦、无卡滞、无噪声
- 无金属粉尘，洁净度高
- 耐高温、不变形、不生锈
- 模块化结构，更换快捷应用场景：刻蚀、CVD、PVD 设备晶圆升降机构；真空腔体内部升降运动部件；半导体晶圆支撑与传输系统。
AMAT 0190-25291 
AMAT 1410-01366 
AMAT 0040-01849 
AMAT 0021-36302 