产品名称：超高真空密封 O 型圈产品简介：半导体腔体、法兰、观察窗专用高性能密封 O 型圈，用于超高真空环境下的静态密封，保证腔体长期不漏气。技术规格
- 材质：全氟醚橡胶 Kalrez
- 适用真空：≤1×10⁻⁹ Torr
- 漏率：≤1×10⁻¹¹ Torr・L/s
- 温度范围：-40℃～260℃
- 规格：符合 AS‑568A 标准功能特点
- 极低泄漏率，满足超高真空要求
- 耐所有半导体工艺气体与清洗剂
- 抗老化、抗压缩永久变形
- 低挥发、低释气，不污染腔体
- 使用寿命长，更换周期长应用场景：真空腔体法兰密封；观察窗密封；电极与腔体密封；半导体所有超高真空设备。
AMAT 0190-25291 
AMAT 1410-01366 
AMAT 0040-01849 
AMAT 0021-36302 