产品名称：设备电源监控与保护模块产品简介：整机供电系统的监控与保护单元，实现过压、欠压、过流、缺相、漏电检测与快速切断，保障设备与人员安全。技术规格
- 输入：三相 AC 380V / 单相 AC 220V
- 监测参数：电压、电流、功率、频率
- 响应时间：≤10ms
- 输出：继电器干接点报警
- 工作温度：0℃～50℃功能特点
- 全参数实时监测，异常立即保护
- 故障锁定，便于排查原因
- 支持远程复位与状态查询
- 高精度采样，误动作率低
- 符合半导体设备安全标准应用场景：半导体设备主电源保护；刻蚀、沉积设备供电监控；自动化产线电源安全管理。
AMAT 0190-25291 
AMAT 1410-01366 
AMAT 0040-01849 
AMAT 0021-36302 