产品名称：真空阀位反馈传感器组件产品简介：用于真空门阀、角阀、隔膜阀的开关位置检测与反馈，提供可靠的阀位信号，参与设备真空连锁控制。技术规格
- 检测方式：非接触式磁感应
- 输出：PNP/NPN 可配置
- 响应时间：≤5ms
- 工作电压：24V DC
- 防护等级：IP65
- 耐温：-10℃～80℃功能特点
- 非接触检测，无机械磨损
- 动作可靠，抗振动、抗冲击
- 信号稳定，不受粉尘与油污影响
- 直接接入设备 I/O，无需额外调理
- 安装角度灵活，适配多种阀型应用场景：真空传输腔体门阀；工艺腔体进样阀；气体管路开关阀；半导体真空系统连锁控制。
AMAT 0190-25291 
AMAT 1410-01366 
AMAT 0040-01849 
AMAT 0021-36302 