产品名称：腔体电极绝缘组件产品简介：半导体腔体电极与腔体壁之间的高压绝缘部件，提供可靠电气隔离、热稳定与等离子体防护，保障腔体高压安全与制程稳定。技术规格
- 材质：高纯氧化铝陶瓷 + 氮化硼复合
- 耐压：AC 15kV，DC 20kV
- 耐温：最高 900℃
- 平面度：≤0.01mm
- 绝缘电阻：≥10¹⁵Ω・cm
- 同轴度：≤0.005mm功能特点
- 高压绝缘可靠，无击穿、无爬电
- 耐高温、抗热冲击，适应温度循环
- 耐等离子体腐蚀，使用寿命长
- 低杂质释放，不污染晶圆与腔体
- 尺寸精准，安装同轴，无偏移
- 模块化设计，更换便捷应用场景：刻蚀腔体上 / 下电极绝缘；射频等离子体环境绝缘；静电卡盘高压隔离；半导体腔体电极系统。
AMAT 0010-09395 
AMAT 6C50SHCS 
AMAT DIP-510-005 
AMAT 0041-76691 