产品名称：多路温度采集控制板产品简介：半导体设备专用高精度温度采集与控制电路板，实现腔体、基座、加热器、喷淋头等多点温度的实时采集、信号调理与闭环控制。技术规格
- 输入通道：12 路 PT100/PT1000
- 测量精度：±0.1℃
- 分辨率：0.01℃
- 输出通道：4 路 PID 控制输出（0~10V/4~20mA）
- 采样周期：100ms
- 通信接口：RS485、以太网
- 工作电源：24V DC功能特点
- 高精度采集，长期漂移小、稳定性高
- 内置硬件滤波，抗射频干扰能力强
- 自适应 PID 算法，控温响应快、波动小
- 支持多点校准与故障自诊断
- 光电隔离，避免信号串扰
- 支持远程监控与数据记录应用场景：腔体温度控制；静电卡盘温控；加热器 / 喷淋头温控；CVD、ALD、PVD 设备温控系统。
AMAT 0010-09395 
AMAT 6C50SHCS 
AMAT DIP-510-005 
AMAT 0041-76691 