产品名称：真空计信号处理模块产品简介：超高真空系统专用真空计信号采集、放大与转换单元，将真空计的微弱信号转换为标准模拟 / 数字信号，实现真空度的精准监测与远程传输。技术规格
- 适配真空计：热偶计、皮拉尼计、电离计
- 测量量程：10⁻⁹ Torr~10³ Torr
- 输出信号：0~10V、4~20mA、RS485
- 精度：±0.2% FS
- 响应时间：≤50ms
- 隔离电压：≥1500V
- 工作温度：-10℃~60℃功能特点
- 宽量程覆盖，适配高低真空环境
- 信号放大纯净，无噪声、无漂移
- 多重电气隔离，抗干扰能力强
- 支持真空计自动识别与校准
- 具备超压 / 欠压报警功能
- 兼容主流真空计品牌与通信协议应用场景：刻蚀、沉积腔体真空监测；真空传输系统压力控制；涡轮分子泵真空系统；半导体超高真空环境监控。
AMAT 0010-09395 
AMAT 6C50SHCS 
AMAT DIP-510-005 
AMAT 0041-76691 