产品名称：射频功率监测模块产品简介：射频工艺系统专用功率监测单元，实时采集正向功率、反射功率、电压驻波比（VSWR），为射频匹配与工艺控制提供精准数据，防止设备损坏。技术规格
- 频率范围：0~100MHz
- 功率测量：0~5kW 正向，0~500W 反射
- 精度：±0.5%
- VSWR 测量范围：1.0~5.0
- 输出：0~10V 模拟量、数字 I/O、RS485
- 响应时间：≤10ms
- 防护等级：工业级 EMC功能特点
- 实时、同步监测射频全参数
- 高抗干扰，适配强射频环境
- 反射功率超限立即报警与保护
- 数据稳定，无抖动、无失真
- 支持远程数据读取与趋势分析
- 兼容主流射频电源与匹配网络应用场景：干法刻蚀射频监控；PECVD、PVD 射频功率控制；等离子体设备安全保护；半导体射频工艺数据采集。
AMAT 0010-09395 
AMAT 6C50SHCS 
AMAT DIP-510-005 
AMAT 0041-76691 