AMAT 0225-33921

产品名称：晶圆承载台静电卡盘（ESC）基座组件产品简介：静电卡盘核心支撑基座，为晶圆提供稳定支撑与精准定位，同时实现热传导与电气绝缘，保障晶圆制程均匀性。技术规...