产品名称：晶圆承载台静电卡盘（ESC）基座组件产品简介：静电卡盘核心支撑基座，为晶圆提供稳定支撑与精准定位，同时实现热传导与电气绝缘，保障晶圆制程均匀性。技术规格
- 材质：高纯陶瓷 + 阳极氧化铝复合基材
- 表面粗糙度：Ra≤0.4μm
- 定位精度：±0.01mm
- 绝缘耐压：≥10kV DC
- 热传导系数：≥200W/(m・K)
- 适配晶圆：200mm/300mm 标准晶圆功能特点
- 晶圆吸附稳定，无偏移、无划伤
- 热传导均匀，晶圆温度一致性优异
- 高绝缘强度，杜绝漏电风险
- 抗化学腐蚀、易清洁、低污染应用场景：PVD/CVD/ALD 制程晶圆承载、刻蚀设备静电卡盘基座、离子注入设备晶圆支撑、先进封装制程晶圆定位。
AMAT 0200-09761 
AMAT 0200-08347 
AMAT 0200-00262 
AMAT 0190-36349 