产品名称：真空腔体密封适配法兰组件产品简介：半导体真空腔体专用高精度密封法兰，用于腔体与外部管路、泵组的密封连接，保障超高真空环境稳定，适配刻蚀、沉积等核心制程设备。技术规格
- 材质：316L EP 级不锈钢，表面电解抛光
- 密封形式：金属面密封（VCR/VCO）+ 全氟醚 O 型圈双重密封
- 适用真空度：≤10⁻⁹Torr
- 工作温度：-40℃～300℃
- 耐压：≥25MPa
- 洁净等级：SEMI C12 级，无颗粒、无析出功能特点
- 超高真空密封性能，零泄漏风险
- 耐化学腐蚀、耐等离子体冲刷
- 安装定位精准，重复拆装密封性一致
- 长寿命设计，减少维护停机时间应用场景：Endura/Centura 系列腔体真空接口、分子泵 / 干泵连接、刻蚀 / 沉积设备真空管路密封、超高真空系统法兰连接。
AMAT 0200-09761 
AMAT 0200-08347 
AMAT 0200-00262 
AMAT 0190-36349 