产品名称：工艺介质输送阀组件产品简介：半导体高纯工艺介质专用气动隔膜阀组件，用于工艺气体 / 液体通断控制。技术规格
- 阀体材质：316L EP 不锈钢
- 隔膜材质：PFA / 全氟醚复合
- 驱动方式：气动执行
- 通径规格：标准制程通径
- 适用压力：真空～2MPa功能特点
- 无泄漏密封，高可靠性
- 无死角、易吹扫、低残留
- 耐强腐蚀工艺介质
- 开关速度快，寿命长应用场景：刻蚀工艺气体控制、CVD 前驱体输送、高纯化学品管路、真空 / 压力切换系统。
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AMAT 0150-07099
2026-02-13 15:47 已有人浏览 小编
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产品AMAT 0150-07099
品牌AMAT
型号0150-07099
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