产品名称：真空系统压力检测组件产品简介：用于半导体真空腔体压力采集与监控的高精度传感组件，实时反馈真空度状态。技术规格
- 测量范围：大气压～10⁻⁹Torr
- 精度等级：≤±1%
- 输出信号：标准模拟 / 数字信号
- 材质：316L 不锈钢 + 陶瓷传感元件
- 适配接口：标准真空法兰接口功能特点
- 宽量程高精度测量
- 响应快速，稳定性高
- 抗污染、抗腐蚀
- 与设备真空控制系统无缝对接应用场景：刻蚀 / 沉积腔体真空监控、分子泵 / 干泵机组压力监测、真空检漏系统、晶圆制程真空联锁控制。
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AMAT 0150-16078
2026-02-13 15:47 已有人浏览 小编
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产品AMAT 0150-16078
品牌AMAT
型号0150-16078
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